直結式小型CA−104N2シリーズ

半導体ドーピング用、水銀用、ホルムアルデヒド用

●注 意
ガス濃度0.1%以下

ガスの種類を間違えると吸収する事が出来ません。
試験条件:20度C 湿度50%


写真は、有機ガス用です。

半導体ドーピング用DG

  • 対応ガスジボラン、ヒ化水素(アルシル)、モノシラン (四水素化ケイ素)、リン化水素

  • (ホスフィン)
  • 吸収缶の保存期間

  • 吸収缶の交換方法:コンビネーションキャップ

  • 半導体ドーピング用DG  CA-104N2/DG (74g/個)
    破過時間 ジボラン 試験濃度0.02%(200ppm)で250分
            (最高許容透過濃度0.1ppm)

    破過時間
     ヒ化水素濃度0.02%で45分
            (最高許容透過濃度0.05ppm)

    破過時間
      モノシラン濃度0.02%で35分
            (最高許容透過濃度5ppm)

    破過時間
     リン化水素濃度0.02%で165分 
           
    (最高許容透過濃度0.3ppm)

    売価 588円
    /個(消費税込・送料別) 

  •  

水銀用ME

  • 対応ガス:水銀
  • 吸収缶の交換方法:コンビネーションキャップ
  • 水銀用ME  CA-104N2/ME (74g/個)
    破過時間 水銀水蒸気濃度10mg/立法メートルで 480分  (最高許容透過濃度0.05立法メートルppm)
    売価 910円
    /個(消費税込・送料別) 


ホルムアルデヒド用FA 

  • 対応ガス:ホルムアルデヒド、グルタルアルデヒド

  • 吸収缶の交換方法:コンビネーションキャップ

  • ホルムアルデヒド用FA  CA-104N2/FA2 (74g/個)
    破過時間 ホルムアルデヒド0.002% で550分 
           
    (最高許容透過濃度2ppm)
    売価 535円
    /個(消費税込・送料別) 

 
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